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            應用案例

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            晶圓缺陷

            晶圓表面劃痕、凹坑、凸起等缺陷檢測

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            電性測試

            晶圓及器件電阻率,摻雜濃度,方塊電阻及I-V和RF測試

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            光刻膠

            顆粒數量、金屬離子濃度、膜厚、折射率、固含量檢測

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            摩擦磨損

            微納米摩擦、力學表征,摩擦表面輪廓,摩擦磨損情況表征

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            微納米光學

            光柵、光波導光學器件形貌、電學表征、場強表征

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            納米材料

            微納米材料形貌、力學、電學、原位等綜合表征

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